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德國inficon高溫壓力計CDG160D
inficon高溫壓力計CDG160D功能簡介：
INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C，具有性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
inficon高溫壓力計CDG160D優(yōu)點
2 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
2 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
2 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
2 診斷端口便于快速服務與維護
2 兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
2 信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
2 合規(guī)和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficon高溫壓力計CDG160D典型應用
ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝
ü 化學和腐蝕性高溫過程
ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護
inficon高溫壓力計CDG160D規(guī)格
? 準確性閱讀%:0.4
? 精度%：0.003
? 輸出信號(模擬)V (dc)：0.. +10
? 響應時間：30ms
暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )
